ForschungPublikationen
Fügen Klebstoff-vorbeschicheter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Fügen Klebstoff-vorbeschicheter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Kategorien Konferenz
Jahr 2007
Autoren Böhm, Stefan; Dilger, Klaus; Raatz, Annika; Hemken, Gregor; Rathmann, Sven
Veröffentlicht in in: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik, VDE Verlag, Berlin Offenbach, Karlsruhe, 2007, 155-162
ISBN 978-3-80073-033-9