Fügen hybrider Mikrosysteme unter Verwendung bauteilintegrierter Klebhilfen
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Zeitschriften/Aufsätze (reviewed) |
Jahr | 2008 |
Autoren | Wagner, Mario; Rathmann, Sven; Vogt, M; Raatz, Annika; Hesselbach, Jürgen; Böhm, Stefan |
Veröffentlicht in | in: wt-online, Springer Berlin / Heidelberg, 2008, 41984, 961-968 |