Microassembly - Approaches to Meet the Requirements of Accuracy
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2005 |
| Autoren | Hesselbach, Jürgen; Wrege, Jan; Raatz, Annika; Heuer, Kerstin; Soetebier, Sven |
| Veröffentlicht in | in: Löhe, Detlef; Haußelt, Jürgen: Advanced Micro & Nanosystems, Wiley-VCH Verlag, Weinheim, 2005, Vol. 4, 475-498 |
| ISBN | 978-3-527-31493-5 |
