Microassembly - Approaches to Meet the Requirements of Accuracy
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2005 |
| Autorinnen/Autoren | Hesselbach, J.; Wrege, J.; Raatz, A.; Heuer, K.; Soetebier, S. |
| Veröffentlicht in | Löhe, Detlef; Haußelt, Jürgen: Advanced Micro & Nanosystems, Wiley-VCH Verlag, Weinheim, 2005, Vol. 4, pp. 475-498 |
| ISBN | 978-3-527-31493-5 |
| DOI | 10.1002/9783527616732.ch5 |
