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Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, welcher aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann.

Der piezoelektrische Effekt ist in der heutigen Mikrosystemtechnik vielseitig einsetzbar. Mit piezoelektrischen Materialien lassen sich Sensoren und Aktoren realisieren. Dabei wird zwischen dem direkten und dem indirekten piezoelektrischen Effekt unterschieden. Beim direkten piezoelektrischen Effekt kann eine Spannung abgegriffen werden, wenn eine Kraft auf das Material wirkt – mögliche Einsatzbereiche sind beispielsweise Drucksensoren und Energy Harvesting. Beim indirekten piezoelektrischen Effekt wird eine Spannung angelegt, die zu einer Verformung des Materials führt, wie zum Beispiel beim Schwingquarz.

Aluminiumnitrid (AlN) gehört zu den häufig verwendeten piezoelektrischen Materialien in der Dünnfilmtechnik. Einen Beschichtungsprozess für AlN mittels reaktiver Kathodenzerstäubung konnte das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) an den institutseigenen Anlagen etablieren. Mehr Infos: https://phi-hannover.de/entwicklung-eines-piezoelektrischen-aluminiumnitrid-duennfilms/