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Fügen Klebstoff-vorbeschicheter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Fügen Klebstoff-vorbeschicheter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Categories Conferences
Year 2007
Authors Böhm, Stefan; Dilger, Klaus; Raatz, Annika; Hemken, Gregor; Rathmann, Sven
Published In in: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik, VDE Verlag, Berlin Offenbach, Karlsruhe, 2007, 155-162
ISBN 978-3-80073-033-9