Fügen Klebstoff-vorbeschicheter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS
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Year | 2007 |
Authors | Böhm, Stefan; Dilger, Klaus; Raatz, Annika; Hemken, Gregor; Rathmann, Sven |
Published In | in: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik, VDE Verlag, Berlin Offenbach, Karlsruhe, 2007, 155-162 |
ISBN | 978-3-80073-033-9 |