Fügen Klebstoff-vorbeschicheter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS
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Conferences |
| Year | 2007 |
| Authors | Böhm, Stefan; Dilger, Klaus; Raatz, Annika; Hemken, Gregor; Rathmann, Sven |
| Published In | in: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik, VDE Verlag, Berlin Offenbach, Karlsruhe, 2007, 155-162 |
| ISBN | 978-3-80073-033-9 |
