Tools for Handling and Assembling of Microparts
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Beiträge in Büchern |
Jahr | 2011 |
Autoren | Hoxhold, B.; Wrege, J.; Bütefisch, S.; Burisch, A.; Raatz, A.; Hesselbach, J.; Büttgenbach, S. |
Veröffentlicht in | in: Büttgenbach, S.; Burisch, A.; Hesselbach, J.: Design and Manufacturing of Active Microsystems, Springer, Microtechnology and MEMS series, Berlin u.a., 2011, pp. 287-308 |
ISBN | 978-3-642-12902-5 |