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Fügen hybrider Mikrosysteme unter Verwendung bauteilintegrierter Klebhilfen

Fügen hybrider Mikrosysteme unter Verwendung bauteilintegrierter Klebhilfen

Categories Journals (reviewed)
Year 2008
Authors Wagner, Mario; Rathmann, Sven; Vogt, M; Raatz, Annika; Hesselbach, Jürgen; Böhm, Stefan
Published In in: wt-online, Springer Berlin / Heidelberg, 2008, 41984, 961-968