Fügen hybrider Mikrosysteme unter Verwendung bauteilintegrierter Klebhilfen
Categories |
Journals (reviewed) |
Year | 2008 |
Authors | Wagner, Mario; Rathmann, Sven; Vogt, M; Raatz, Annika; Hesselbach, Jürgen; Böhm, Stefan |
Published In | in: wt-online, Springer Berlin / Heidelberg, 2008, 41984, 961-968 |